Logo
ende
ende

Turbomolekularpumpen

Turbomolekularpumpen von Shimadzu schaffen das perfekte Vakuum zur Herstellung von Solarzellen und Halbleitern. Mit unserer Produktpalette sorgen wir bei der Produktion von Siliziumwafern und Solarzellenmodulen für zuverlässige Prozesse und höchste Standzeit. Zudem unterstützen die trockenlaufenden Vorvakuumpumpen unserer Partner sämtliche Halbleiterprozesse, vom Load-Lock bis zum PVD und CVD-Prozess.
Magnetgelagert
Hybridgelagert

Turbomolekularpumpen

 – 

Magnetgelagert
Left Arrow

TMP-203
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion: 1E-8 Pa
    Wasserkühlung: : 1E-8 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 190
    He: 140
    H2: 120
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 6E+4
    H2: 4E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG100 / ICF 152 / ISO100B / ISO100C
  • Auslassflansch
    KF25
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 400
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    50000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    9
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 450
TMP-303
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-8 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 320
    He: 340
    H2: 320
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 8E+4
    H2: 1E+4
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG100 / ICF 152 / ISO100B / ISO100C
  • Auslassflansch
    KF25
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 400
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    45000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    14
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 550
TMP-403
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-8 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 420
    He: 360
    H2: 340
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 8E+4
    H2: 1E+4
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG150 / ICF203 / ISO160B / ISO160C
  • Auslassflansch
    KF25
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 400
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    45000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    14
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 550
TMP-803
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-9 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 800
    He: 800
    H2: 700
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 8E+4
    H2: 4E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG150 / ICF203 / ISO160B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 665
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    35000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    33
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1000
TMP-1003
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-9 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 1080
    He: 930
    H2: 790
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 8E+4
    H2: 4E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG200 / ICF253 / ISO200B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 665
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    35000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    32
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1000
TMP-1103
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-9 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 1080
    He: 1040
    H2: 800
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 1E+7
    H2: 1E+6
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG200 / ICF253 / ISO200B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 800
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    36000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    5
  • Gewicht [Kg]
    32
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1000
TMP-1303
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-9 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 1300
    He: 1050
    H2: 750
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 6E+8
    He: 1E+4
    H2: 1E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG200 / ICF253 / ISO200B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    30300
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    7
  • Gewicht [Kg]
    39
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1000
TMP-1503
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Erzwungene Konvektion / Wasserkühlung: 1E-8 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 1500
    He: 1200
    H2: 800
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 6E+8
    He: 1E+4
    H2: 1E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    ICF305 / VG250 / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    30300
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    7
  • Gewicht [Kg]
    42
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1000
TMP-2203
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-9 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 2050
    He: 2000
    H2: 1350
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1.4E+8
    He: 1E+4
    H2: 1E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG250 / ICF305 / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In any desired direction
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    24600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    11
  • Gewicht [Kg]
    59
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1200
TMP-2404
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 2100
    Ar: 2000
    H2: 1770
    He: 2240
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 7E+4
    H2: 3E+3
  • Kühlmethode
    Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG250 / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    11
  • Gewicht [Kg]
    70
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    57
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1500
TMP-2804
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    VG250 - N2: 2800
    VG250 - Ar: 2700
    VG250 - H2: 2100
    VG250 - He: 2800
    ISO250B - N2: 2500
    ISO250B - Ar: 2400
    ISO250B - H2: 2000
    ISO250B - H2: 2600
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 1E+5
    H2: 6E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG250 / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Water Cooling: 270
  • Einbauposition
    In any desired direction
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    84
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1500
TMP-3304
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 3200
    Ar: 3100
    H2: 2200
    He: 3100
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 1E+5
    H2: 6E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG300 / VG350 / ISO320B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    84
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1500
TMP-3804
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    VG300 - N2: 3800
    VG300 - Ar: 3400
    VG300 - H2: 2500
    ISO320B - N2: 4000
    ISO320B - Ar: 3600
    ISO320B - H2: 2500
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 3E+4
    H2: 2E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG300 / ISO320B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    2400
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    18
  • Gewicht [Kg]
    115
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1500
TMP-4304
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 4400
    H2: 4200
    He: 2600
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 3E+4
    H2: 2E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG350
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    24000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    18
  • Gewicht [Kg]
    105
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1500
TMP-4805
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 4500
    Ar: 4300
    H2: 3100
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+8
    H2: 2E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG350
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    20580
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    180
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    61
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 2300
TMP-5305
Beschreibung
  • Separate Stromversorgung
  • Netzwerkverbindung
  • Verschiedene Überwachungsfunktionen
  • Kupplungsfrei
  • Breites Sortiment
  • Produktserie
    TMP-03/04-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 5300
    Ar: 5100
    H2: 3200
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+8
    H2: 2E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG350 / ISO400B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    Wasserkühlung: 270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    20580
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    160
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    61
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 2300
TMP-V1704
Beschreibung
  • Integrierte Stromversorgung
    • Keine Installation von Kabeln oder Verwendung eines Steuerungsracks erforderlich
  • Kompakt
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-V-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 1400
    Ar: 1350
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+8
    He: 5E+3
    H2: 9E+2
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG200 / ISO200B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    200
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    33700
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    9
  • Gewicht [Kg]
    60
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    230 / 1200
TMP-V2304
Beschreibung
  • Integrierte Stromversorgung
    • Keine Installation von Kabeln oder Verwendung eines Steuerungsracks erforderlich
  • Kompakt
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-V-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 2100
    Ar: 2000
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+8
    He: 5E+3
    H2: 9E+2
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG250 / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    200
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    33700
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    9
  • Gewicht [Kg]
    60
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    230 / 1200
TMP-V2804
Beschreibung
  • Integrierte Stromversorgung
    • Keine Installation von Kabeln oder Verwendung eines Steuerungsracks erforderlich
  • Kompakt
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-V-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 2800
    Ar: 2700
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 1E+5
    H2: 6E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG250
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    16
  • Gewicht [Kg]
    94
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200-250 / 1200
TMP-V3304
Beschreibung
  • Integrierte Stromversorgung
    • Keine Installation von Kabeln oder Verwendung eines Steuerungsracks erforderlich
  • Kompakt
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-V-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 3200
    Ar: 3100
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 1E+5
    H2: 6E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG300 / VG350 / ISO320B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    16
  • Gewicht [Kg]
    94
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200-250 / 1200
TMP-V4404
Beschreibung
  • Integrierte Stromversorgung
    • Keine Installation von Kabeln oder Verwendung eines Steuerungsracks erforderlich
  • Kompakt
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-V-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 4050
    Ar: 4300
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1.5E+7
    He: 4.0E+3
    H2: 4.4E+2
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG350
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    170
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    24000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    98
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    60
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200-250 / 1200
TMP-X1205
Beschreibung
  • Kompakter
  • Temperaturregelungsfunktion
  • IP54-konform
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-X-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    VG150: N2: 1080
    VG150: Ar: 1020
    VG150: H2: 710
    ISO160B: N2: 950
    ISO160B: Ar: 890
    ISO160B: H2: 680
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 2E+8
    H2: 8E+2
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG150 / ISO160B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    266
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    37200
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    8
  • Gewicht [Kg]
    43
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    57
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 750
TMP-X1605
Beschreibung
  • Kompakter
  • Temperaturregelungsfunktion
  • IP54-konform
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-X-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    VG200 / ISO200B - N2: 1400
    VG200 / ISO200B - Ar: 1330
    VG200 / ISO200B - H2: 750
    VG250 / ISO250B - N2: 1490
    VG250 / ISO250B - Ar: 1420
    VG250 / ISO250B - H2: 780
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 2E+8
    H2: 8E+2
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG200 / VG250 / ISO200B / ISO250B
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    266
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    37200
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    8
  • Gewicht [Kg]
    41
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    57
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 750
TMP-X3405
Beschreibung
  • Kompakter
  • Temperaturregelungsfunktion
  • IP54-konform
  • Energiesparend
  • Produktserie
    TMP-X-Serie
  • Enddruck
    Wasserkühlung: 1E-7 Pa
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 3400
    Ar: 3300
    H2: 2300
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 2E+8
    H2: 1E+3
  • Kühlmethode
    Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG300 / ISO320B / VG350
  • Auslassflansch
    KF40
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    270
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    27600
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    12
  • Gewicht [Kg]
    89
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    57
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    200 - 240 / 1700

Turbomolekularpumpen

 – 

Hybridgelagert
Left Arrow

TMP-B70
Beschreibung
  • Geringe Vibrationen und lange Lebensdauer durch Magnetlager und Keramiklager
  • Hoher Gegendruck und Wasserstoff-Kompressionsrate
  • Energiesparend
  • Kann in jeder Ausrichtung montiert werden
  • Enddruck
    Natürliche Konvektion: 1E-6
    Erzwungene Konvektion: 1E-8
    Wasserkühlung: 1E-8
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 70
    He: 60
    H2: 49
    KF40 - N2: 41
    KF40 - He: 46
    KF40 - H2: 42
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 4E+7
    H2: 4E+5
  • Kühlmethode
    Natürliche Konvektion, Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    DN63CF (ICF114) / VG65 / ISO63K / KF40
  • Auslassflansch
    KF16
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    200 - 900
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    87000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    1.7
  • Gewicht [Kg]
    4
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    48
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    24 VCD / 120 W
TMP-B300
Beschreibung
  • Geringe Vibrationen und lange Lebensdauer durch Magnetlager und Keramiklager
  • Hoher Gegendruck und Wasserstoff-Kompressionsrate
  • Energiesparend
  • Kann in jeder Ausrichtung montiert werden
  • Enddruck
    Natürliche Konvektion: 1E-6
    Erzwungene Konvektion: 1E-8
    Wasserkühlung: 1E-8
  • Pumpgeschwindigkeit [l/s]
    N2: 280
    He: 270
    H2: 220
  • Kompressionsverhältnis
    N2: 1E+9
    He: 7E+6
    H2: 1E+5
  • Kühlmethode
    Natürliche Konvektion, Erzwungene Konvektion, Wasser
  • Flanschtypen (Einlass)
    VG100 / ICF152 / ISO100
  • Auslassflansch
    KF16
  • Maximaler Vordruck [Pa]
    100 - 1300
  • Einbauposition
    In jede gewünschte Richtung
  • Rotationsgeschwindigkeit [rpm]
    60000
  • Anlaufzeit (bis 80%) [min]
    3.5
  • Gewicht [Kg]
    6.6
  • Geräuschemissionen [dB(A)]
    50
  • Zulässiges Magnetfeld (radial/axial) [mT]
    3 / 15
  • Stromversorgung (Spannung / max. Strom)
    24 VCD / 180 W