Anwendungsbeispiel:

• In Produktionsanlagen integrierbar
• Laboranwendungen 
• Produktion
• Analysentechnik
• Isoliervakuum
• Rohrleitungssysteme
• Serien- und Einzeltest
• Reinraum und Halbleiter-Technik

Betriebsarten:

• Sprühgasverfahren
• Integralverfahren
• Schnüffelbetrieb
• Vorevakuierung zu weitgehenden Partikelvermeidung im Leckdetektor
• In Anlagen integrierbar