Vakuumsysteme abgestimmt auf Ihre Bedürfnisse

Turbomolekularpumpen schaffen eine Vakuumumgebung, die für die Herstellung von Solarzellen und Halbleitern unerlässlich ist. Mit der weltweit höchsten Saugleistung ist die Produktpalette von Shimadzu darauf ausgelegt, die Anforderungen an die Schichtabscheidung und die Herstellung von Solarzellenmodulen und Siliziumwafern zu erfüllen, welche beide immer weiter expandieren.

Turbomolekularpumpen

Hybridlager

Integrierte Stromversorgung

Hohe Durchsatzleistung

Turbomolekularpumpen

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Hybridlager

Der langlebige Lagermechanismus reduziert die Wartungskosten.

Kombination von Magnet- und Keramiklagern
Ein firmeneigener Dämpfungsmechanismus sorgt für geringe Vibrationen und eine Lagerkühlung, die zusätzlich für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer sorgt.

Auch in Kombination mit einer Vorpumpe einsetzbar.

Durch die Kombination von Turbinenschaufeln und Molekularschlepppumpe wird ein Ultrahochvakuum auch bei hohen Vorvakuumwerten erreicht.
In Kombination mit einer kleinen trockenen Vakuumpumpe, z. B. einer Membranpumpe, können ultrahohe Vakuumdrücke erreicht werden.

Turbomolekularpumpen

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Integrierte Stromversorgung

Kompaktes Modell mit integrierter Stromversorgung

Die Stromversorgungseinheit ist in die Pumpe integriert.
Es müssen keine Kabel verlegt oder ein Schaltschrank verwendet werden.

Verbesserte Pumpleistung

Eine hohe Pumpleistung wird durch die Anwendung der Strömungsanalyse von verdünntem Gas und der Strukturanalysetechnik erreicht.

Umweltfreundlich

Stromsparend (bis zu 25 % geringerer Stromverbrauch als bei früheren Modellen)

Turbomolekularpumpen

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Hohe Durchsatzleistung

Maximaler Pumpendurchsatz

Ein hoher Pumpendurchsatz wird mit einem kompakten Gehäuse erreicht.

Kompakte Stromversorgung

49 % kleiner und 50 % leichter als die Vorgängermodelle von Shimadzu

Batterielos

Im Falle eines Stromausfalls wird das Magnetschweben mit regeneriertem Strom aufrechterhalten, wodurch der Verschleiß des Aufsetzlagers verringert wird.

Produktanfrage

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Verpackungsrichtlinie

Bitte beachten Sie die folgenden Hinweise zur Umweltkennzeichnung von Verpackungen und trennen Sie die Verpackungen entsprechend.
Der Identifikationscode des Verpackungsmaterials gemäß der Entscheidung 129/97/EG
EUR-Lex – 31997D0129 – EN – EUR-Lex (europa.eu)

Il Decreto Legislativo del 3 settembre 2020 ha reso obbligatoria l’etichettatura ambientale in Italia. Il Decreto si riferisce alla Direttiva UE 2018/851
sui rifiuti e alla Direttiva UE 2018/852 sugli imballi e sul loro smaltimento.
Per cortesia fate riferimento alle informazioni che seguono e separate gli imballi di conseguenza.