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Vakuumsysteme abgestimmt auf Ihre Bedürfnisse

Turbomolekularpumpen schaffen eine Vakuumumgebung, die für die Herstellung von Solarzellen und Halbleitern unerlässlich ist. Mit der weltweit höchsten Saugleistung ist die Produktpalette von Shimadzu darauf ausgelegt, die Anforderungen an die Schichtabscheidung und die Herstellung von Solarzellenmodulen und Siliziumwafern zu erfüllen, welche beide immer weiter expandieren.

Turbomolekularpumpen

Der langlebige Lagermechanismus reduziert die Wartungskosten.

  • Kombination von Magnet- und Keramiklagern
  • Ein firmeneigener Dämpfungsmechanismus sorgt für geringe Vibrationen und eine Lagerkühlung, die zusätzlich für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer sorgt.

Auch in Kombination mit einer Vorpumpe einsetzbar.

  • Durch die Kombination von Turbinenschaufeln und Molekularschlepppumpe wird ein Ultrahochvakuum auch bei hohen Vorvakuumwerten erreicht.
  • In Kombination mit einer kleinen trockenen Vakuumpumpe, z. B. einer Membranpumpe, können ultrahohe Vakuumdrücke erreicht werden.

Kompaktes Modell mit integrierter Stromversorgung

  • Die Stromversorgungseinheit ist in die Pumpe integriert.
    Es müssen keine Kabel verlegt oder ein Schaltschrank verwendet werden.

Verbesserte Pumpleistung

  • Eine hohe Pumpleistung wird durch die Anwendung der Strömungsanalyse von verdünntem Gas und der Strukturanalysetechnik erreicht.

Umweltfreundlich

  • Stromsparend (bis zu 25 % geringerer Stromverbrauch als bei früheren Modellen)

Maximaler Pumpendurchsatz

  • Ein hoher Pumpendurchsatz wird mit einem kompakten Gehäuse erreicht.

Kompakte Stromversorgung

  • 49 % kleiner und 50 % leichter als die Vorgängermodelle von Shimadzu

Batterielos

  • Im Falle eines Stromausfalls wird das Magnetschweben mit regeneriertem Strom aufrechterhalten, wodurch der Verschleiß des Aufsetzlagers verringert wird.

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