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Trockenlaufende Pumpen
In Zusammenarbeit mit renommierten Herstellern bieten wir ein umfassendes Portfolio an trockenlaufenden Pumpen: von kompakten Vorvakuumlösungen bis hin zu leistungsstarken Systemen für anspruchsvolle Prozesskammern. Trockenlaufende Vakuumpumpen bilden die zuverlässige Grundlage für saubere und stabile Prozesse, darunter Halbleiterfertigung, Beschichtungs- und Trocknungsprozesse sowie Wärmebehandlung. Dank unserer breiten Anwendungs- und Leistungsbereiche finden Sie bei uns garantiert genau die richtige Pumpe für Ihre Anforderungen.
Hanbell
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trockenlaufende Pumpen
Die trockenlaufenden Pumpen der Hanbell Precise Machinery Co., Ltd. aus Taiwan zeichnen sich aus durch eine hohe Leistungsfähigkeit, eine geringe Prozesskontamination und einen niedrigen Wartungsaufwand.
PS/PD Serie
Die PS-Serie ist mehr als nur eine Pumpe, sie ist eine Komplettlösung. Sie zeichnet sich durch eine hohe Förderleistung, eine robuste Konstruktion und eine intelligente Steuerung aus. Die PD-Serie basiert auf der PS-Serie und verfügt über ein innovatives Schraubenrotordesign, das eine energiesparende Lösung bietet.
PDM Serie
Die PDM-Serie steht für robuste, ölfreie Schraubenvakuumpumpen im Trockenausführungsprinzip. Sie wurde speziell für leichte bis mittlere Aufgaben ausgelegt und erfüllt hohe Anforderungen, beispielsweise im Halbleiterbereich.
iPH Serie
Die Schraubenpumpen der iPH-Serie überzeugen mit starker Leistung und sind ideal für unterschiedlichste Anwendungen – selbst unter harten Bedingungen. Dafür sorgen der besonders kurze Gasweg zu den Rotoren und das ausgeklügelte Abdichtungsdesign.
PMF Serie
Die PMF-Serie umfasst kompakte, energieeffiziente, ölfreie Trockenschrauben-Vakuumpumpen, die speziell für leichte bis mittlere Anwendungen entwickelt wurden – überall dort, wo Sauberkeit, platzsparendes Design und ein leiser Betrieb entscheidend sind.
PMH Serie
Die PHM-Serie umfasst leistungsstarke, ölfreie Schraubenvakuumpumpen für mittlere bis hohe Beanspruchung. Ihre robuste Bauweise mit optimiertem Gasweg und präziser Rotorabdichtung sorgt für stabile Enddrücke und hohe Zuverlässigkeit. Dank energieeffizienter Technologie, einschließlich Frequenzumrichter und intelligenter Steuerung, arbeiten sie besonders sparsam – ideal für Prozesse wie Halbleiterfertigung, Beschichtung und Trocknung.
LOT Vacuum
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trockenlaufende Pumpen
Die LOT Vacuum Co., Ltd. ist ein südkoreanischer Spezialist für öl‑ und schadstofffreie Trockenvakuumpumpen, maßgeblich für die Halbleiter‑ und Displayindustrie.
XD Serie
Die XD Serie bietet Hochleistungspumpen mit großer Kapazität und einem hohen Enddruck. Sie wurde für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt.
RD Serie
Die RD Serie ist eine Pumpenserie für besonders anspruchsvolle Anwendungen, zum Beispiel im Display‑ oder Solar‑Bereich.
DD105 Serie
Die DD105 Serie ist Teil der DD‑Serie mit kompakter Auslegung für z. B. 150‑mm und 200‑mm Prozesse, basierend auf dem gleichen Design wie die größeren DD‑Varianten. Diese Serie eignet sich speziell für hohe Teilchenlasten, aggressive Chemien und hohe Gasdurchflüsse.
DD255 Serie
Die DD255 Serie ist die größere Variante der DD‑Serie. Sie ist ausgelegt für FPD (Flachbildschirme), 300 mm und 450 mm Anwendungen mit hoher Partikellast und aggressivem Prozessgasfluss.
HD Serie
Die HD Serie ist ausgelegt für eine hohe Betriebssicherheit, geringere Betriebskosten und eine robuste Leistung auch unter schwierigen Prozessbedingungen, etwa bei Kondensaten, Partikeln oder korrosiven Medien.