Reparatur
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Shimadzu Infraserv Vakuumservice
Shimadzu Infraserv Vakuumservice

JAHRELANGE ERFAHRUNG

Die Infraserv GmbH repariert nicht nur Vakuumpumpen und -komponenten der neuen Generation, sondern auch eine Vielzahl von Produkten, die von Herstellern nicht mehr produziert oder repariert werden.

Das Preis/Leistungsverhältnis steht bei uns im Fokus. Es werden keine unnötigen Pauschalreparaturen durchgeführt. Wir stimmen uns mit Ihnen ab!

Mit regelmäßigen Trainings, Workshops, Fort- und Weiterbildungen stellen wir sicher, dass unsere Techniker das notwendige Wissen besitzen, um den bestmöglichen Service für Sie zu garantieren.

Reparaturservice

Drehschieberpumpen
Trockenlaufende Vakuumpumpen
Turbopumpen
Kryopumpen
Kompressoren
Ionengetterpumpen
Kalibrierung von Vakuummessgeräten
Lecksuchgeräte

Vakuumpumpen Reparatur

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Drehschieberpumpen
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Vakuumpumpen Reparatur:

Bei der Vorpumpenreparatur werden defekte und verschmutzte Pumpen in einen nahezu neuen Zustand versetzt. Dabei muss nicht immer die ganze Pumpe revidiert werden, oftmals können die defekten Pumpen durch den gezielten Austausch von Verschleißteilen, wie z.B. Schieber und Lager bereits wieder repariert werden. Die Wartungsarbeiten werden gemäß Herstellervorgaben durchgeführt. Bei Bedarf werden auch Statoren und Rotoren ausgetauscht, dies stimmen wir im Voraus mit dem Kunden ab.

Ablauf der Reparatur:

  • Eingang der Vorpumpe, z.B. via Vor-Ort Abholservice oder Spedition
  • Sichtung und Prüfung der Vorpumpe (ggf. Kontaminierung)
  • Demontage
  • Öl Entsorgung und ggf. PFPE Öl Regeneration
  • Reinigung in unserer 3-stufigen Reinigungsstraße
  • Zusammenbau der Vorpumpe nach Herstellervorgabe und Spezifikation
  • 24-stündiger Testlauf mit Dokumentation und Endkontroll Plakette
  • Lackierung
  • Auslieferung

Infraserv Vakuumservice führt seit 1993 Vorpumpenreparaturen durch. Ein Garant dafür ist die ISO 9001:2008 Zertifizierung. Eine motivierte Servicemannschaft aus Technikern und Ingenieuren, eine modern eingerichtete Werkstatt, eine umweltschonende Reinigungsstraße bestehend aus Ultraschallbad, Glasperlenstrahler und Propanol Trocknung, sowie ein umfangreiches Prüffeld, um die reparierten Pumpen vor der Auslieferung auf alle wichtigen Parameter zu kontrollieren.

Vakuumpumpen Reparatur

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Trockenlaufende Vakuumpumpen
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Um die prozessrelevanten Bereiche unserer Kunden nicht durch Kohlenwasserstoff-Verbindungen zu belasten, werden trockenlaufende Vakuumpumpen an entsprechend sauberen Arbeitsplätzen gewartet und repariert.

Aufwendiges Reparatur- und Justierwerkzeuge sind für diese Art von Pumpen notwendig. Nach den Reparaturarbeiten werden alle wichtigen Funktionen mit speziellen Prüfmitteln getestet und gegebenenfalls korrigiert.

Vakuumpumpen Reparatur

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Turbopumpen
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Reparatur und Wartungsarbeiten an Turbomolekularpumpen werden in genau festgelegten Verfahren (interne Arbeitsanweisungen nach ISO 9001) durchgeführt. Mögliche Kontaminationen müssen vom Anwender per Kontaminationserklärung mitgeteilt werden. Um die Gesundheit unserer Mitarbeiter zu schützen, geht im Falle von kritischen Kontaminationen den Servicearbeiten die vorschriftsmäßige Neutralisation voraus. Danach erfolgt die detaillierte Befundung der Pumpen.  Zum späteren Nachweis werden äußerliche, sowie interne Schäden erfasst und dokumentiert.

Im Rahmen dieser Dokumentation, ist es oft schon möglich, Ursachen von Schäden zu erkennen. Nach erstelltem Kostenvoranschlag und erfolgter Freigabe durch die Kunden, werden die Reparaturarbeiten den Herstellervorgaben entsprechend durchgeführt. Dies umfasst Einzeltätigkeiten, wie Prüf- u. Justierarbeiten, Reinigung, Tausch der defekten Teile, Wuchten des Rotors, Testläufe usw..

Defekte Steuergeräte (Frequenzkontroller) und sonstige Elektronik-Komponenten werden in unserer Elektronikwerkstatt repariert und abgeglichen.

Ihr Ansprechpartner
Steffen Faißt
Leitung Hochvakuum "Kryopumpen"
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Vakuumpumpen Reparatur

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Kryopumpen
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Infraserv repariert und wartet, bis auf wenige Ausnahmen alle auf dem Markt befindlichen Kryopumpen:

  • CTI Torr / CTI on Board
  • ULVAC
  • SHI-APD / Balzers
  • Genesis
  • Varian / EBARA (je nach Zustand)
  • Leybold
  • Sumitomo

Infraserv Kryopumpen Standard Reparatur:

  • Kaltkopf zerlegen, reinigen, überarbeiten, Ventile & Ventilspiel anpassen, Kaltkopf mit Neuteilen montieren (O-Ringe, Dichtungen, Bushings, Lager, Aeroquips)
  • Displacer zerlegen, gegebenenfalls Lead Shot reinigen. Displacer, Lead Shot ausheizen, montieren, Seals erneuern
  • Kaltfinger polieren
  • Pumpkörper zerlegen, reinigen, Spielt überarbeiten (neu beschichten)
  • Kohleteil (15K con. Array) erneuern und gegebenenfalls neu belegen
  • Pumpe komplettieren. Auf Testplatz evakuieren, Leck- und Schnüffeltest durchführen
  • Testlauf über 24 Stunden mit entsprechendem Kompressor
  • Bei on Board Modellen wird das Modul auf Null gesetzt, die Backup Batterie getauscht und die RS Schnittstelle geprüft
  • Ebenfalls wird die Backup Batterie geprüft und gegebenenfalls getauscht
  • Pumpe wird verschlossen, wenn möglich und gewünscht mit Blindflansch evakuiert ausgeliefert
  • Testbeleg wird beigelegt

Kryo-Systeme werden im Bereich der Tieftemperatur Technik, Kryogenik (griechisch „Kälte“) eingesetzt. Kryogenik ist die Erzeugung von tiefen Temperaturen <123 Kelvin. Diese Temperaturen beeinflussen die thermodynamischen Eigenschaften von Elementarteilchen. Kaltflächen sind in der Lage auf den entsprechend gekühlten Oberflächen Gase zu kondensieren und dabei zu binden (Oberflächenbindung). Nicht-kondensierbare Gase werden bei tiefen Temperaturen unter Verwendung von Aktivkohle adsorbiert. So kann ein großes Spektrum von Gasen gepumpt werden. Kryo-Systeme bestehen in der Regel aus Kälteaggregat (Refrigerator), Kryopumpe und KryotherapieKompressor. Die niedrigen Temperaturen erzeugt man durch die Expansion hoher Gasdrücke, diese erreicht man durch den Einsatz spezieller Kompressoren, die Helium verdichten können. Mit besonders reinem Helium können Temperaturen bis ca. 1K erreicht werden. Diese Systeme sind frei von Kohlenwasserstoffen und werden deswegen bevorzugt in Halbleiter-, Beschichtung-, und ähnlichen Prozessen innerhalb der Industrie eingesetzt. Auch in der Grundlagenforschung, sowie Applikationen mit supraleitenden Materialen werden Kryo-Systeme benötigt. Beispiele für Kryoanwendungen:

  • Zerstäuben von Metallen
  • Ionen-Implantation
  • Aufdampf-Prozesse
  • Elektronenstrahlschweißen
  • Plasmatechnologien
  • Supraleitender Bereich

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Ihr Ansprechpartner
Steffen Faißt
Leitung Hochvakuum "Kryopumpen"
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Vakuumpumpen Reparatur

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Kompressoren
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Die Wartung von He-Kompressoren umfasst die Überprüfung der technischen Funktionen, Dichtheit und der Sicherheitskomponenten. Bei Kontaminationen des Helium-Kreislaufs, wird dieser fachgerecht dekontaminiert. Der Kühlkreislauf wir auf vorschriftsmäßigen Durchfluss geprüft und gegebenenfalls gereinigt.

Die Adsorberkartusche wird nach Ablauf der zulässigen Betriebsstunden ausgetauscht. Hierbei besteht die Möglichkeit auch modifizierte Adsorberkartuschen einzusetzen, die wiederverwendbar, günstiger und nachhaltiger sind.

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Vakuumpumpen Reparatur

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Ionengetterpumpen
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Ionengetterpumpen (IGP), auch Ionenzerstäuberpumpe genannt, sind Ultra-Hochvakuum-Pumpen welche hauptsächlich in Prozessen eingesetzt werden, bei denen sehr niedrige Drücke (<10-11 mbar) und vibrationsarme Umgebung benötigt wird. Das Wirkungsprinzip einer Ionengetterpumpe ist die Elektronenstoß-Ionisation. Dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Chemisch reaktive Moleküle werden auch ohne vorherige Ionisation beim Auftreffen auf ein Gettermaterial (normalerweise Titan) gebunden. Diese Art von Pumpe funktioniert nur, wenn bereits Hochvakuum erreicht wurde. Ionengetterpumpen sind für Edelgase nicht sehr gut geeignet, weil abgepumptes Edelgas chemisch nicht gebunden werden kann und unter Umständen wieder freigesetzt wird. Beispiele für Anwendungen:

  • Elektronen-Rastermikroskopie
  • Plasmatechnologien
  • Chemische- und biologische- Verfahren

Bei Reparaturen von Ionengetterpumpen muss besonders auf Sauberkeit geachtet werden, da Ausgasungen die Pumpleistung oder Prozesse stark beeinträchtigen würden. Die Komplettüberholung von Ionengetterpumpen umfasst je nach Ausführung, die Erneuerung der Kathodenbleche, bzw. der Titangitter sowie die komplette Überholung der Anodenzylinder, Hochspannungsdurchführung, Anbauteile und des Pumpkörpers. Zur Überholung werden die angebauten Magnete nicht benötigt, da nur ein Überschlagtest durchgeführt wird. Wir sind auch in der Lage die kleineren Einwegpumpen (bis 20l), die üblicherweise nach Verbrauch entsorgt werden, zu überholen. Dies spart hohe Kosten, da eine Neuanschaffung nicht mehr nötig ist. Ionengetterpumpen werden von uns nach dem Trockenheizen, sofort mit einem Flansch verschlossen und evakuiert ausgeliefert. Der Testlauf der bei uns überholten/regenerierten Ionengetterpumpen beschränkt sich auf einen Überschlagtest. Das bedeutet ein Hochspannungstest mit 6KV. Dies ist die Garantie für eine intakte IGP. Wir verfügen zudem über große Erfahrung und Kenntnisse im Bereich der Ionengetterpumpe und helfen um den Vakuumprozess beim Kunden zu optimieren.

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Vakuumpumpen Reparatur

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Kalibrierung von Vakuummessgeräten
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Vakuum-Messgeräte und Messzellen werden im Rahmen unserer Prüfmittelvorschriften verglichen oder kalibriert. Unsere Referenzmesszellen werden jährlich von autorisierten Kalibrierlaboren neu zertifiziert.

Bei Bedarf werden die Messzellen, gewartet und repariert. Sämtliche Kalibrierergebnisse werden dokumentiert und an die Kunden weitergegeben.

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Steffen Faißt
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Vakuumpumpen Reparatur

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Lecksuchgeräte
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Folgende Lecktestgeräte kann die Infraserv GmbH in der speziell ausgerüsteten Werkstatt warten und reparieren. Bei anderen Geräten einfach nachfragen:

  • Alcatel
  • Pfeiffer
  • Oerlikon Leybold
  • Ulvac
  • Varian
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Steffen Faißt
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