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LOT Vacuum
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trockenlaufende Pumpen
Die LOT Vacuum Co., Ltd. ist ein südkoreanischer Spezialist für öl‑ und schadstofffreie Trockenvakuumpumpen, maßgeblich für die Halbleiter‑ und Displayindustrie.
XD Serie
Die XD Serie bietet Hochleistungspumpen mit großer Kapazität und einem hohen Enddruck. Sie wurde für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt.
RD Serie
Die RD Serie ist eine Pumpenserie für besonders anspruchsvolle Anwendungen, zum Beispiel im Display‑ oder Solar‑Bereich.
DD105 Serie
Die DD105 Serie ist Teil der DD‑Serie mit kompakter Auslegung für z. B. 150‑mm und 200‑mm Prozesse, basierend auf dem gleichen Design wie die größeren DD‑Varianten. Diese Serie eignet sich speziell für hohe Teilchenlasten, aggressive Chemien und hohe Gasdurchflüsse.
DD255 Serie
Die DD255 Serie ist die größere Variante der DD‑Serie. Sie ist ausgelegt für FPD (Flachbildschirme), 300 mm und 450 mm Anwendungen mit hoher Partikellast und aggressivem Prozessgasfluss.
HD Serie
Die HD Serie ist ausgelegt für eine hohe Betriebssicherheit, geringere Betriebskosten und eine robuste Leistung auch unter schwierigen Prozessbedingungen, etwa bei Kondensaten, Partikeln oder korrosiven Medien.