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Die Wartung von He-Kompressoren umfasst die Überprüfung der technischen Funktionen, Dichtheit und der Sicherheitskomponenten. Bei Kontaminationen des Helium-Kreislaufs, wird dieser fachgerecht dekontaminiert. Der Kühlkreislauf wir auf vorschriftsmäßigen Durchfluss geprüft und gegebenenfalls gereinigt.
Die Adsorberkartusche wird nach Ablauf der zulässigen Betriebsstunden ausgetauscht. Hierbei besteht die Möglichkeit auch modifizierte Adsorberkartuschen einzusetzen, die wiederverwendbar, günstiger und nachhaltiger sind.