Kryo-Systeme werden im Bereich der Tieftemperatur Technik, Kryogenik (griechisch „Kälte“) eingesetzt. Kryogenik ist die Erzeugung von tiefen Temperaturen <123 Kelvin. Diese Temperaturen beeinflussen die thermodynamischen Eigenschaften von Elementarteilchen. Kaltflächen sind in der Lage auf den entsprechend gekühlten Oberflächen Gase zu kondensieren und dabei zu binden (Oberflächenbindung). Nicht-kondensierbare Gase werden bei tiefen Temperaturen unter Verwendung von Aktivkohle adsorbiert. So kann ein großes Spektrum von Gasen gepumpt werden. Kryo-Systeme bestehen in der Regel aus Kälteaggregat (Refrigerator), Kryopumpe und KryotherapieKompressor. Die niedrigen Temperaturen erzeugt man durch die Expansion hoher Gasdrücke, diese erreicht man durch den Einsatz spezieller Kompressoren, die Helium verdichten können. Mit besonders reinem Helium können Temperaturen bis ca. 1K erreicht werden. Diese Systeme sind frei von Kohlenwasserstoffen und werden deswegen bevorzugt in Halbleiter-, Beschichtung-, und ähnlichen Prozessen innerhalb der Industrie eingesetzt. Auch in der Grundlagenforschung, sowie Applikationen mit supraleitenden Materialen werden Kryo-Systeme benötigt. Beispiele für Kryoanwendungen:

• Zerstäuben von Metallen
• Ionen-Implantation
• Aufdampf-Prozesse
• Elektronenstrahlschweißen
• Plasmatechnologien
• Supraleitender Bereich

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