
Der Standard für Vakuumdichtheitsprüfungen in der industriellen Vakuum- und Halbleiterfertigung
Die INFICON UL1000 Helium-Lecksucher-Serie ist der renommierte Standard, wenn es um wirtschaftliche Helium-Vakuum-Lecktests in industriellen Umgebungen (UL1000 mit ölgedichteten Vorvakuumpumpen) oder in der Halbleiterindustrie (UL1000 Fab mit trocken verdichtenden Vorvakuumpumpen) geht.
Die UL1000-Serie bietet den besten Kompromiss zwischen hoher Leistung, unvergleichlicher Robustheit und Erschwinglichkeit. Sie liefert hochmoderne Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s in Kombination mit einer vernünftig kurzen Abpump- und Ansprechzeit. Das kompakte Design gewährleistet eine hohe Manövrierfähigkeit und erleichtert den Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platzangebot. Die wählbare Hintergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht kontinuierliche Lecktests, die mindestens zwei Dekaden unter den bestehenden Hintergrundwerten liegen.
Diese Merkmale verkürzen insgesamt die Dauer Ihres Lecktestprozesses und stellen sicher, dass alle Lecks effizient und wirtschaftlich erkannt werden.
Mit dem TC1000 Testkammer-Zubehör bietet die UL1000 Helium-Lecksucher-Serie eine einfache, schnelle und genaue Prüfung hermetisch abgedichteter Teile wie IC-Gehäuse, Quarzkristalle und Laserdioden (gemäß MIL-STD 883, Methode 1014).




