Vakuum Messgeräte
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Shimadzu Infraserv Vakuumservice
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Neu im Portfolio

Seit September 2026 sind wir INFICON PRIME Distributor für Deutschland und Österreich und freuen uns, nun auch die Vakuumprodukte von INFICON für Sie im Angebot zu haben. Hier sehen Sie eine Auswahl an Messgeräten. Für weitere Produkte können Sie über das Kontaktformular ganz einfach eine Anfrage stellen.

Vakuum Messgeräte

INFICON PSG55x

Pirani-Messgerät

ATM To Medium Vacuum Gauge

Das INFICON Pirani Standardmessgerät (PSG55x) verwendet wie seine Brüder PCG55x und PSG50x die fortschrittlichste digitale Pirani-Technologie. Das robuste Sensordesign in Kombination mit der kompakten Größe und der Vielzahl an Funktionen qualifiziert das Gerät für Messungen vom Niedrig- bis zum Hochvakuumbereich.

Jetzt auch mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

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Spezifikationen

PSG550 Tungsten
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit nach Pirani
Messbereich Torr
mbar		 5×10-5 … 1000
3.8×10-5 … 750
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±15
100 … 1000 mbar % of reading ±50
Wiederholbarkeit (N2)
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±2
Ausrichtung der Montage jede
PSG552 Nickel
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit nach Pirani
Messbereich Torr
mbar		 3.8×10-5 … 750
5×10-5 … 1000
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±15
100 … 1000 mbar % of reading ±50
Wiederholbarkeit (N2)
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±2
Ausrichtung der Montage jede
PSG554 keramisch beschichtet
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit nach Pirani
Messbereich Torr
mbar		 5×10-5 … 1000
3.8×10-5 … 750
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±15
100 … 1000 mbar % of reading ±50
Wiederholbarkeit (N2)
1×10-3 … 100 mbar % of reading ±2
Ausrichtung der Montage jede

 

INFICON PCG55x

Pirani-Messgerät

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Das INFICON Pirani-Kapazitätsmembran-Messgerät (PCG55x) kombiniert die patentierte INFICON Pirani-Technologie mit den Vorteilen eines keramischen Kapazitätsmembransensors in einem einzigen Produkt.

Im Messbereich zwischen 10 mbar und Atmosphärendruck bietet die Kapazitätsmembrantechnologie vom Gastyp unabhängige, höchstpräzise Werte für zuverlässige Druckmessungen. Darüber hinaus bietet das PCG55x eine Vielzahl an Funktionen, mit denen sich die richtige Produktkonfiguration für die gewünschte Anwendung erzielen lässt.

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Spezifikationen

PCG550 Tungsten
Messbereich mbar
Torr		 5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
100 … 950 mbar % of reading ±5
950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
Wiederholbarkeit
1×10-3 … 1100 mbar (N2) % of reading ±2
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +50
Lagerung °C -20 … +65
Ausheizen am Flansch °C ≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr °C ≤250
Versorgungsspannung V (dc) +15 … +30
Sollwert Relais
Anzahl Sollwerte 2
Bereich (N2) mbar 5×10-5 … 1000
Relaiskontakt Relay contact n.o., potential free
Hysterese % of threshold 10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤1
Schaltzeit ms ≤30
Werkstoffe gegen Vakuum W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass

 

PCG552 Nickel
Messbereich mbar
Torr		 5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
100 … 950 mbar % of reading ±5
950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
Wiederholbarkeit
1×10-3 … 1100 mbar (N2) % of reading ±2
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +50
Lagerung °C -20 … +65
Ausheizen am Flansch °C ≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr °C ≤250
Versorgungsspannung V (dc) +15 … +30
Sollwert Relais
Anzahl Sollwerte 2
Bereich (N2) mbar 5×10-5 … 1000
Relaiskontakt Relay contact n.o., potential free
Hysterese % of threshold 10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤1
Schaltzeit ms ≤30
Werkstoffe gegen Vakuum Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass

 

PCG554 keramisch beschichtet
Messbereich mbar
Torr		 5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
Genauigkeit (N2)
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
100 … 950 mbar % of reading ±5
950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
Wiederholbarkeit
1×10-3 … 1100 mbar (N2) % of reading ±2
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +50
Lagerung °C -20 … +65
Ausheizen am Flansch °C ≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr °C ≤250
Versorgungsspannung V (dc) +15 … +30
Sollwert Relais
Anzahl Sollwerte 2
Bereich (N2) mbar 5×10-5 … 1000
Relaiskontakt Relay contact n.o., potential free
Hysterese % of threshold 10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais V (dc)
A (dc)		 ≤30
≤1
Schaltzeit ms ≤30
Werkstoffe gegen Vakuum Al2O3, stainless steel

INFICON Trigon® BPG552

Heiß-Ionisationsmessgerät

ATM bis Ultrahochvakuum DualGauge

Für Anwendungen, die einen Messbereich von UHV (5 x10-10) bis hinunter zu ATM (1000 mbar) erfordern, enthält die Trigon®-Familie das Dualtechnologie-Messgerät BPG552. Das BPG552 besteht sowohl aus einem Bayard-Alpert Heiß-Ionisations-Sensorelement als auch aus einem klassischen, robusten und zuverlässigen Pirani-Sensorelement. Das fixierte Bayard-Alpert-Doppelfilament bietet überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit.

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Spezifikationen

Trigon® BPG552
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 1000 mbar
Genauigkeit
1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  ±15 des Messwertes
100 … 1000 mbar           ±50%
Reproduzierbarkeit 5% der Lesung, 10-8 …  10-2 mbar (nach 10 min. Stabilisierung)
Dem Vakuum ausgesetzte Materialien Edelstahl, NiFe, Nickel (plated), Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram

INFICON SKY® CDG025D

Kapazitätsmanometer

Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

INFICON SKY CDG025D-Kapazitätsmembranmessgeräte sind hochpräzise temperaturkompensierte Manometer mit stabiler Leistung für anspruchsvolle Prozessumgebungen. Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung.

Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Die robuste mechanische Konstruktion und die digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, Langzeitstabilität und Temperaturkompensation.

Das CDG025D-Kapazitätsmembranmessgerät setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition.

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Spezifikationen

1000 Torr / 1100 mbar
500 … 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading 0.2
Auflösung percent FS 0.003
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10
Ansprechzeit ms 30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

 

0.25 Torr
Genauigkeit % of reading 0.25
Auflösung percent FS 0.003
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10
Ansprechzeit ms 130
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

 

0.1 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading 0.5
Auflösung percent FS 0.003
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10
Ansprechzeit ms 130
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

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